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半導(dǎo)體晶圓制造
AGV用于晶圓盒搬運(yùn)
集成自主導(dǎo)航AGV小車和協(xié)作機(jī)器人，用于搬運(yùn)晶圓料盒等，智能控制，自主導(dǎo)航，視覺定位，安全協(xié)作，自動上下料。
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