頭部高度
FlyEye300W
單模組2D/3D晶圓外觀檢查量測機(jī)
機(jī)器特長
* 靈活對應(yīng)8-12英寸裸晶圓/鐵環(huán)晶圓，選配對應(yīng)方板以及其他單顆類產(chǎn)品
* 高精度高產(chǎn)出（最高像素可達(dá)0.225微米 / 10微米缺陷檢出時(shí)，2D/3D檢查WPH高達(dá)70片）
* 單體CCD相機(jī)檢測2D/3D數(shù)據(jù)及缺陷
* 數(shù)字共聚焦解決方案及算法提供出色的精度及適配性
規(guī)格參數(shù)
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